Рідинно-фазна епітаксія

Комплексний лабораторно-виробничий модуль НВП «Карат» для вирощування тонких шарів оксидів методом рідинно-фазної епітаксії за рівнем технологічної оснащеності не має аналогів у Європі.

 

Комплекс дозволяє виконувати розробки технологій одержання монокристалічних плівок та епітаксійних структур сполук складних оксидів на сучасному світовому рівні.


Фахівцями лабораторії рідинно-фазної епітаксії розробляються технології, які дозволяють одержувати нові високотехнологічні продукти – епітаксійні структури діаметром до 3-х дюймів (76,2 мм) складнозаміщених рідкісноземельних гранатів для різноманітних застосувань у сучасній електроніці.

 

Висока якість кінцевих продуктів забезпечується виконанням всіх технологічних операцій з підготовки процесів вирощування та фінішної очистки структур у «чистій кімнаті» класу «100», де постійно підтримуються надзвичайно високі параметри технологічного мікроклімату.


Серед чисельних розробок підприємства нові матеріали магніто- та квантової електроніки:

- широка номенклатура епітаксійних структур на основі залізо-ітрієвого гранату для створення нового покоління планарних інтегральних надвисокочастотних пристроїв спін-хвильової електроніки;

- структури на основі рідкісноземельних залізних гранатів з гігантським значенням магнітооптичного ефекту Фарадея для візуалізації електромагнітних полів, пристроїв керування оптичними променями та інших задач приладної магнітооптики;

- гранатові структури з контрольованими магнітними параметрами для надчутливих сенсорів малих постійних та змінних магнітних полів;

- плівкові структури на основі рідкісноземельних алюмінієвих та галієвих гранатів, що призначені для використання в якості активних середовищ надмініатюрних мікрочіпових лазерів, надпотужних технологічних дискових лазерів та пасивних пристроїв модуляції добротності резонаторів лазерів.



версія для друку